真(zhēn)空(kōng)度(dù)達不(bù)到15Pa以(yǐ)下

1

檢查真空泵與主(zhǔ)機之間(jiān)連接(jiē)，卡箍是(shì)否(fǒu)正確(què)卡(qiǎ)緊。

2

檢查(chá)排水(shuǐ)閥
，充(chōng)氣閥是否關緊。

3

檢(jiǎn)查型(xíng)密封(fēng)圈(quān)是否清潔(jié)，放置是(shì)否正確(què)。

4

檢查真空(kōng)泵(bèng)工作(zuò)是否正常(cháng)，觀察(chá)泵油是(shì)否(fǒu)清潔。

真空泵(bèng)噴油(yóu)

1

檢查是(shì)否有有(yǒu)閥門(mén)未關，凍幹(gān)機(jī)腔(qiāng)體內(nèi)部(bù)未(wèi)密封(fēng)。

2

檢查泵油(yóu)液(yè)位是否偏(piān)高(gāo)，應(yīng)在試(shì)鏡中間位(wèi)置。

3

檢查(chá)泵(bèng)油(yóu)液位是(shì)否乳(rǔ)化，應及(jí)時(shí)更(gēng)換。

4

檢(jiǎn)查冷阱溫(wēn)度偏(piān)高，應(yīng)等(děng)冷(lěng)阱溫(wēn)度降低(dī)後再(zài)開(kāi)啟。